Ti5Si3具有熔点高(2130℃)、密度低(4.65g/cm3)及优异的高温性能如高的高温硬度、良好的高温稳定性、抗氧化性能。Ti5Si3的熔点与高温结构陶瓷相接近甚至更高，但其密度却远低于一些高温结构陶瓷与高温合金，与钛合金相当，具备了在高温下使用的潜力。